2特種氣體站房的生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性類(lèi)別應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

3 生產(chǎn)廠(chǎng)房?jī)?nèi)的特種氣體間根據(jù)氣體性質(zhì)宜分為易燃性氣體間、毒性(腐蝕性)氣體間、惰性(氧化性)氣體間、劇毒性氣體間等。

4 獨(dú)立的特種氣體站根據(jù)氣體種類(lèi)、兼容性等因索應(yīng)分為不同種類(lèi)的特種氣體間。

5 大宗硅烷系統(tǒng)氣體設(shè)備應(yīng)布置在獨(dú)立的開(kāi)敞式建筑，不得布置在地下室。開(kāi)敞式建筑應(yīng)帶屋頂遮蓋，外墻面的遮擋部分不得大于三面，且墻體與墻體之間、墻體與屋頂結(jié)構(gòu)之間應(yīng)設(shè)置自然通風(fēng)的空間。硅烷容器與四周障礙物的最小距離小于障礙物高度的2倍時(shí)，大宗硅烷系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置機(jī)械通風(fēng)。
4本條為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。本條規(guī)定大宗硅烷站應(yīng)布置為獨(dú)立的開(kāi)敞式建筑物，并規(guī)定了開(kāi)敞式建筑屋頂、外墻及它們之間的特殊設(shè)計(jì)和建設(shè)方法，如規(guī)定外墻與外墻之間，外墻與屋面結(jié)構(gòu)之間應(yīng)設(shè)置足夠的隔離空間，其目的是防止因?yàn)閴w的設(shè)置不當(dāng)，影響硅烷站的自然通風(fēng)，防止硅烷積聚造成安全事故，同時(shí)，說(shuō)明了硅烷容器與周邊障礙物的距離要求，規(guī)定距離應(yīng)不小于障礙物高度的2倍或通過(guò)設(shè)計(jì)機(jī)械通風(fēng)來(lái)防止硅烷積聚。硅烷屬于自燃性氣體，自燃溫度為-50℃，燃燒熱44,370kJ/kg(1kg硅烷相當(dāng)于 10kgT&N&T當(dāng)量)。硅烷按化學(xué)當(dāng)量與空氣混合時(shí)(硅烷占9.51%)，局限空間(定容)環(huán)境下硅烷的爆燃產(chǎn)生的壓力是10.21atm，而爆炸情況下是19.81atm。如此強(qiáng)大的壓力沖擊波，會(huì)對(duì)周?chē)娜藛T和建筑物帶來(lái)災(zāi)難性的損失。許多大型電子工廠(chǎng)硅烷儲(chǔ)存量達(dá)到12t~15t，-旦發(fā)生爆炸，危險(xiǎn)性極大，本條規(guī)定是為了通過(guò)獨(dú)立式的開(kāi)敞式建筑及相關(guān)措施，通過(guò)自然通風(fēng)和機(jī)械通風(fēng)的方法防止事故狀態(tài)下的硅烷堆積，減少事故發(fā)生，并在萬(wàn)一發(fā)生事故時(shí)，將事故危害降至最&低&程度。
    美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)《硅烷和硅烷混合物的儲(chǔ)存和操作》ANSI/CGA G 13-2015第3.2.22.2條(室外)、第6.2.1條(位置)、第6.2.1.1條(空曠)、第6.2.1.1.1條(減緩措施)和第7.2條(室內(nèi)儲(chǔ)存和使用)也做了相關(guān)的規(guī)定。上述ANSI/CGA G-13-2015的相關(guān)內(nèi)容摘錄如下:

    6. 除了按照第7章要求的安裝非大宗硅烷系統(tǒng)和按照第18章的要求安裝的大宗硅烷系統(tǒng)可以放置在室內(nèi)，硅烷氣源和供應(yīng)系統(tǒng)應(yīng)放置在室外，雖然硅烷系統(tǒng)允許放置在室內(nèi)，硅烷的存放和使用還是最好在室外，目的是為了減少在火災(zāi)和保證事故時(shí)，對(duì)設(shè)備和人員造成的危害。通過(guò)把硅烷系統(tǒng)安裝在一個(gè)無(wú)限制的空間，周?chē)沫h(huán)境能夠吸收無(wú)限的熱量，周?chē)沫h(huán)境也允許無(wú)限的膨脹，以便迅速釋放超高的壓力。

    6.1.1 系統(tǒng)應(yīng)置于開(kāi)敞式環(huán)境中，并應(yīng)按照第6.3條的要求允許空氣自由流動(dòng)，減少硅烷泄漏時(shí)潛在的堆積，詳見(jiàn)第3.2.22.1條。非硅烷系統(tǒng)的物體，或支撐結(jié)構(gòu)，或防火隔離會(huì)影響硅烷系統(tǒng)區(qū)域空氣的自由流動(dòng)，這些障礙物與硅烷儲(chǔ)存容器的最小距離應(yīng)為障礙物高度的2倍，不是大型障礙物且不影響空氣流動(dòng)，不需要考慮最小距離，比如，電話(huà)桿等寬度較小的物體。支撐結(jié)構(gòu)和防火隔墻的設(shè)計(jì)應(yīng)允許盡可能多的空氣自由流動(dòng)。

    6.1.1.1 減緩措施。

    不符合第6.2.1.1條要求的硅烷氣源和系統(tǒng)應(yīng)為硅烷的使用提供減災(zāi)措施。

    例如，設(shè)定位于結(jié)構(gòu)屋面下的硅烷瓶一側(cè)布置的設(shè)備高度為 10ft(3m)，應(yīng)用上述規(guī)則，設(shè)備至屋面結(jié)構(gòu)的距離不應(yīng)少于20ft(6m)，如果不能滿(mǎn)足20ft(6m)的距離要求，應(yīng)該提供減災(zāi)措施，強(qiáng)制空氣流動(dòng)作減災(zāi)措施是允許的，硅烷使用的減災(zāi)措施可以通過(guò)容器閥門(mén)連接件和非焊接的機(jī)械連接上部的空氣流動(dòng)防止硅烷在結(jié)構(gòu)內(nèi)的堆積。

    7.2 用于硅烷儲(chǔ)存的建筑、房間或區(qū)域的建設(shè)應(yīng)符合當(dāng)?shù)叵啦块T(mén)(AHJ)的要求，硅烷站不應(yīng)建在地下室，大宗硅烷站不應(yīng)建在室內(nèi)。

3.2.6 本條為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。規(guī)定硅烷站內(nèi)大宗容器之間以及容器與工藝氣體盤(pán)之間的距離要求的目的是為了在事故狀態(tài)下保護(hù)操作人員的安全，同時(shí)考慮了工廠(chǎng)的實(shí)際情況，又規(guī)定單硅烷站內(nèi)大宗容器之間以及容器與工藝氣體盤(pán)之間的距離小于9m時(shí)，應(yīng)設(shè)置2h以上的防火隔斷，目的是通過(guò)防火隔墻控制火災(zāi)范圍，保護(hù)操作人員的安全。

    美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)《硅烷和硅烷混合物的儲(chǔ)存和操作》ANSI/CGAG-13-201第6.4.3條(大宗硅烷系統(tǒng)的布置)也做了相關(guān)的規(guī)定，上述 CGAG-13-2015相關(guān)內(nèi)容摘錄如下:

    6.4.3.2.1 控制盤(pán)和硅烷供應(yīng)源的分隔。

    在硅烷大宗供應(yīng)源容器和控制盤(pán)或工藝氣體盤(pán)之間應(yīng)設(shè)置2h的防火隔墻?；蛘咦鳛檫x擇，在容器和控制或工藝氣體盤(pán)之間應(yīng)設(shè)置30 英尺(9m)的隔斷。

    6.4.3.2.2 控制盤(pán)和工藝氣體盤(pán)之間的分隔。

    為保護(hù)盤(pán)面操作期間硅烷潛在泄漏對(duì)操作者的傷害，控制盤(pán)的位置應(yīng)離工藝氣體盤(pán)不少于 15ft(4.6m)，如果防火隔或其他保護(hù)系統(tǒng)用于保護(hù)操作者，控制盤(pán)的距離可以減少。

3.2.7 本條為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。規(guī)定硅烷氣瓶柜內(nèi)的硅烷鋼瓶應(yīng)固定在鋼架上，兩個(gè)鋼瓶之間應(yīng)用6mm 鋼板隔離。

    這是為了防止硅烷泄漏的火焰破壞臨近鋼瓶和設(shè)備，避免硅烷泄漏事故進(jìn)步擴(kuò)大，保護(hù)設(shè)備與工作人員，這些措施是電子工廠(chǎng)多年運(yùn)行的經(jīng)驗(yàn)總結(jié)。

    美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)《硅烷和硅烷混合物的儲(chǔ)存和操作》ANSI/CGAG-13-2015第6.4.2條(氣瓶系統(tǒng)的布置)也做了相關(guān)的規(guī)定，上述 ANSI/GA G13-2015相關(guān)內(nèi)容摘錄如下:

    6.2.4 為了防止硅烷泄漏的火焰破壞臨近鋼瓶和設(shè)備，氣瓶柜內(nèi)的硅烷鋼瓶應(yīng)固定在鋼架上，且之間應(yīng)采用1/4in(6mm)厚的鋼板隔離。鋼板應(yīng)延伸到閥門(mén)出口中心線(xiàn)以下至少18in(460mm)，以及中心線(xiàn)以上至少 6in(150mm)來(lái)進(jìn)行保護(hù)。

3.2.8 本條規(guī)定非大宗硅烷氣體設(shè)備可布置在室內(nèi)，不得建在地下室。因?yàn)榉谴笞诠柰橛昧坎淮?，這也為硅烷存儲(chǔ)設(shè)備水容積不超過(guò) 250L的硅烷供應(yīng)系統(tǒng)提供另外一種設(shè)計(jì)選項(xiàng)，可以減少建設(shè)投資，縮短硅烷管道的長(zhǎng)度，方便硅烷系統(tǒng)的管理。同時(shí)，強(qiáng)調(diào)不得建在地下室也是為了進(jìn)一步防控安全風(fēng)險(xiǎn)。

    美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)《硅烷和硅烷混合物的儲(chǔ)存和操作》ANSI/CGA G-13-2015第7.2條(室內(nèi)儲(chǔ)存和使用)、第7.3條(非大宗硅烷系統(tǒng))也做了相關(guān)的內(nèi)容，上述CGA G-13-2015 相關(guān)內(nèi)容摘錄如下:

    7.2 用于硅烷儲(chǔ)存的建筑、房間或區(qū)域的建設(shè)應(yīng)符合當(dāng)?shù)叵啦块T(mén)(AHJ)的要求，硅烷站不應(yīng)建在地下室，大宗硅烷站不應(yīng)建在室內(nèi)。

    7.3 非大宗硅烷設(shè)備和系統(tǒng)允許放置在室內(nèi)，室內(nèi)儲(chǔ)罐系統(tǒng)與室外儲(chǔ)罐系統(tǒng)的指南是相似的，不同點(diǎn)是為了防止在硅烷泄漏時(shí)硅烷的堆積，需要對(duì)硅烷儲(chǔ)罐機(jī)械連接部分進(jìn)行強(qiáng)制通風(fēng)，第二個(gè)不同點(diǎn)是在火災(zāi)和爆炸事故時(shí)控制有限的潛在風(fēng)險(xiǎn)